【 仪表网 仪表研发】 近红外光谱提供了物质独有的吸收光谱，因此可以区分气体种类。因此，需要小型化 光谱仪来实现用于监测居住环境中的空气质量的紧凑型气体传感器。然而，常规的近红外光谱仪具有光栅以将入射光分散成不同的波长，因此光谱学需要较长的光程长度，难以将这些设备小型化。
 

MEMS悬臂上的金衍射光栅。
 

　　现在，电子通信大学的Oshita Masaaki和Kan Tetsuo及其合作者已经在MEMS(微机电系统)可变形悬臂上开发了金衍射光栅型等离激元光电探测器。
 

　　当前，很多研究人员已经对等离子光电探测器的许多有用特性进行了研究，例如特定于波长或偏振的光电探测器。尽管已经有研究人员对可重构等离激元结构进行了深入研究，但尚未报道过等离激元光电探测器的光学特性的重构。
 

　　因此在这里，研究人员报告了一种金衍射光栅型等离子体光电探测器，该探测器通过MEMS(微机电系统)可变形悬臂重新配置了其光学特性。研究人员通过使用悬臂在-21°到21°范围内的角度扫描来重新配置光电检测器特性，结果发现光电流信号波形的峰移取决于1200-1500 nm范围内的波长，这与SPR(表面等离子共振技术)理论一致。
 

　　据研究人员介绍，该器件是使用采用n型硅的体微加工技术制造的，金衍射光栅用作表面等离子体激元(SP)激发的目的。当光入射到设备上时，悬臂的机械振动会动态改变光的入射角，从而改变等离子体激元(SP)耦合条件。耦合到SPR(表面等离子共振技术)，光能在设备上转换为光电流。研究人员利用悬臂在-21-21度之间的角度变化，通过分析随时间变化的光电流，以数值方式检索了近红外光的光谱。因此研究人员最终实现了超小型化的近红外光谱仪，并有望产生新的小型物联网传感器。