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仪表网 工程快讯】原子力
显微镜(atomic force microscope，简称AFM)利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的，具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了扫描隧道显微镜的不足。
近日，松山湖材料实验室就原子力显微镜进行采购，用于4寸或6寸晶圆的表面缺陷形貌的自动化
分析检测，大样品台晶圆级原子力显微镜是目前半导体芯片领域检测和研究的必备工具，它能够快速获得原子级高分辨的三维立体形貌信息，并且对局部微纳米区域进行计量级别的尺度分析。具体信息如下：
项目编号：OITC-G210DY0046
项目名称：松山湖材料实验室原子力显微镜采购项目
采购方式：公开招标
预算金额：2,000,000.00元
采购需求：合同包1(原子力显微镜)
| 包号 |
采购内容 |
数量 |
是否允许采购进口产品 |
预算金额 （万元） |
最高限价（万元） |
| 1 |
原子力显微镜 |
1套 |
是 |
200 |
155 |
获取招标文件时间：2021年04月12日至2021年04月19日，每天上午09:00:00至12:00:00，下午14:00:00至17:00:00(北京时间，法定节假日除外)方式：在线获取
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：2021年05月08日 14时30分00秒(北京时间)；地点：广东省东莞市莞城街道旗峰路莞城段200号1单元中天大厦602开标室
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